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產(chǎn)品名稱: ZH9SYG型石英管式微波等離子體發(fā)生裝置
產(chǎn)品型號: ZH9SYG
產(chǎn)品展商: 國產(chǎn)
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石英管式微波等離子體發(fā)生裝置（普通型，不含安裝調(diào)試，國產(chǎn)） 型號:ZH9SYG

ZH9SYG型石英管式微波等離子體發(fā)生裝置

是我廠為大學和研究機構(gòu)設計的小型化產(chǎn)品，可用于薄膜材料的制備和等離子體物理等方面的研究工作，并且**適宜于大中專學校的材料、化學工程與、物理等**的學生實驗。該裝置利用微波能激勵稀薄氣體放電在石英管中產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子體，通過通入不同的工作氣體，可進行功能薄膜材料的制備、化學合成、表面刻蝕、等離子體診斷等多方面的實驗。 1 主要配置 1. 2.45GHz，0~500W微波功率連續(xù)可調(diào)，可滿足不同實驗的要求； 2. ф50mm的石英管真空室，帶有一個觀察窗和一個診斷窗口，**實驗方便進行； 3. 石英管采用水冷卻，可裝置在高功率條件下運行； 4. 配置了3路氣體管路，氣體流量控制方便；真空測量系統(tǒng)及控制閥門可真空室所需的真空環(huán)境。 2 典型實驗 1. 等離子體化學氣相沉積 A（氣）+B（氣）→ C（固）+D（氣） 反應氣體A、B被激發(fā)為等離子體狀態(tài)， 其活性基團發(fā)生反應生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上，可**用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜氮化碳薄膜、碳納米材料等。 2. 等離子體表面刻蝕 A（氣）+B（固）→ C（氣） 反應氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應生成氣態(tài)物C，可用于集成電路的刻蝕實驗。 3. 等離子體催化反應 利用等離子體中豐富的活性成分，如紫外和可見光子、電子、離子、自由基；高反應性的中性成分，如活性原子，受激原子態(tài)，從而引發(fā)在常規(guī)化學反應中不能或很難實現(xiàn)的化學反應。 4. 等離子體表面改性 A（氣）+B（固）→ C（固） 反應氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面發(fā)生反應生成新的化合物從而達到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。可**用于高分子材料、金屬材料及生物**材料的表面改性實驗。

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